Costly gas purified after use in deposition reactor. Proposed method for recycling silane reduces cost of producing pure silicon for semiconductor devices.


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    Titel :

    Recycling Silane


    Beteiligte:
    Lutwack, Ralph (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.07.1987



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


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