Simple, inexpensive apparatus coats semiconductor wafers uniformly with hydrofluoric acid for etching. Apparatus made in part from small commercial electric-fan motor. Features bowl that collects acid. Silicon wafer placed on platform and centered on axis; motor switched on. As wafer spins, drops of hydrofluoric acid applied from syringe. Centrifugal force spreads acid across wafer in fairly uniform sheet.


    Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Spinner For Etching Of Semiconductor Wafers


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.04.1989



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


    Spinner Cap

    WALDEN JOEAL | Europäisches Patentamt | 2024

    Freier Zugriff


    Hybrid spinner support

    ROBY BENJAMIN JAMES / BISHOP MICHAEL JASON | Europäisches Patentamt | 2018

    Freier Zugriff

    UNIVERSAL SPINNER WHEEL

    MORRIS THOMAS E / NYE VIRGINIA / SMEDING MARCEL | Europäisches Patentamt | 2024

    Freier Zugriff

    Spinner shaft attachment

    HIGBIE ROBERT / LITTLEJOHN DAVID | Europäisches Patentamt | 2020

    Freier Zugriff