Ausgehend von den an thermoelektrischen Einelementsensoren gewonnenen Erfahrungen wurden ein- und zweidimensionale thermoelektrische Mehrelementsensoren entworfen. Die Technologie zur Herstellung solcher Sensoren wurde entwickelt und verbessert, um damit Funktionsmuster herzustellen. Diese Muster wurden mit einem gemeinsam beim Verbundpartner Fraunhofer-IMS Dresden entwickeltem ASIC hybrid integriert und das System aus Sensorchip und Auswertechip anschließend charakterisiert. Die zur optischen Charakterisierung von Mehrelementsensoren benötigte Meßtechnik mußte ebenfalls aufgebaut werden. Beim Partner R.Bosch GmbH wurde die Eignung solcher Sensoren für eine Out-of-Position Erkennung zur Steuerung eines Beifahrer-Airbags untersucht.
Thermoelektrische Mehrelement-Strahlungssensoren für Analysenmeßtechnik, Positions- und Anwesenheitserkennung (THERMAP). Teilprojekt: Untersuchung, Design und Optimierung von integrierten Mehrelement-Sensorbauelementen
1999
21 Seiten, 15 Bilder, 10 Tabellen, 1 Quelle
Report
Deutsch
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