Zwei neuartige Normaldruck-Gasphasenabscheideverfahren von Zirkoniumdioxid auf Faserbündeln mit mehreren tausend Einzelfasern (Einzelfaserdurchmesser ungefähr gleich 10 Mikrometer) wurden im Rahmen des AiF-Vorhabens 12783N entwickelt: 1) Mit Flammen-CVD, einem weitgehend containerlosen Atmosphärendruck-Verfahren, konnte ZrO2 aus Zirkoniumdipivaloylmethanat bzw. Zirkoniumacetylacetonat auf SiTiC Fasern abgeschieden werden. Eine mittlere Abscheiderate von 3 x 10-5 mol.m-2.s-1 wurde bei einer Beschichtungszonenlänge von 4 cm erreicht. 2) In einem weiteren thermischen CVD-Prozess bei Atmosphärendruck erfolgte die Beschichtung durch die Hydrolyse von Zirkoniumdipivaloylmethanat in Wasserdampf. In der Pilot-Anlage mit 60 cm langer Abscheidezone wurde eine Abscheiderate von 7x10-6 mol.m-2.s-l erreicht. Die mittlere Schichtdicke von 10 nm ist in der Pilotanlage für die Fasertransportgeschwindigkeit von ca. 30 m/h erreichbar. Diese Abscheidegeschwindigkeiten stellen die höchsten bisher erreichten Werte für Oxid-CVD-Abscheideprozesse bei Normaldruck dar.
CVD ZrO2-Beschichtung von Fasern bei Normaldruck
Atmospheric pressure CVD of ZrO2 on fibers
Vakuum in Forschung und Praxis ; 18 , 2 ; 37-41
2006
5 Seiten, 10 Bilder, 15 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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