Messsysteme basierend auf der Shack-Hartmann Technologie, ermöglichen eine Nanometer genaue zweidimensionale Oberflächencharakterisierung von Präzisions-Röntgenspiegeln. Hochpräzise und mit Scangeschwindigkeiten bis zu 70mm/min ermöglicht diese Technologie bereits innerhalb des Herstellungsprozesses das aktuelle Polierergebnis schnell und zuverlässig zu überprüfen und damit die weiteren Polierschritte für eine gezielte Formgebung zu optimieren. Routinemäßige Kontrollen lassen sich vor und während der Nutzung dieser Spiegel innerhalb der Synchrotronstrahlungsquellen und Lithographiezentren schneller und einfacher durchführen.
Zweidimensionale optische Charakterisierung von Präzisions-Röntgenspiegeln
Photonik ; 46 , 2 ; 34-37
2014
4 Seiten, 5 Bilder, 12 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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