Die Herstellung von Halbleitersensoren erfordert hohe Investitionen und wird erst dann wirtschaftlich interessant, wenn sehr grosse Stueckzahlen in Frage kommen. Bei niedrigen Stueckzahlen, wie sie bei Fertigungsanlaeufen auftreten, und bei Variationen z.B. im Messbereich und aehnlichem, wie es auf Grund von Typenanpassung der Fall sein kann, sind unter Umstaenden andere Techniken interessanter, die ebenfalls ueber hohes Radiopotential verfuegen, das bereits bei kleinen Stueckzahlen greift und groessere Flexibilitaet aufweist. Die Schichttechniken bieten fuer viele Messgroessen alternative Sensorkonzepte, deren Fertigung schon in Bereichen unter einer Million Stueck im Jahr kostenguenstig moeglich ist und eine hoehere Aenderungsflexibilitaet hat. Der Unterschied im Platzbedarf ist angesichts des meist erforderlichen Verpackungsvolumens gering. Hinzu kommen die Vorteile des Laserabgleichs und des nahtlosen Anschlusses der unmittelbar zugeordneten Auswertelektronik in Hybridtechnik. Selbst Moeglichkeiten, die in der Mikromechanik liegen, koennen genutzt werden. Dies wird an Beispielen von Sensoren zur Weg-, Druck-, Temperatur-, Drehzahl-, Beschleunigungs- und Durchflussmessung verdeutlicht, die besonders haeufig fuer Systeme in Kraftfahrzeugen benoetigt werden.
Kraftfahrzeug-Sensoren in Schichttechnik - eine interessante Alternative zu Halbleitersensoren
Motor vehicle sensors in film techniques - an interesting alternative to semiconductor sensors
Bosch Technische Berichte ; 8 , 5 ; 239-251
1987
13 Seiten, 23 Bilder, 5 Tabellen, 10 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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