Im vorliegenden Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor für den Einsatz im Automobilbau vorgestellt, der in der CMOS IC-Technologie gefertigt wird und somit mit einer entsprechenden Ausleseelektronik auf einem Chip integriert werden kann. Durch Herstellung in einer planaren Ätztechnik ist der Sensor sehr klein und extrem überdrucksicher. Vorteile einer solchen monolithischen Produktion sind die elektromagnetische Verträglichkeit, die Betriebssicherheit, seine geringen Abmessungen und die Integrationsfähigkeit in eine microcontrollergestützte Meß- und Regeltechnik.
CMOS kompatibler Drucksensor in planarer Ätztechnik mit integrierter Ausleseelektronik
CMOS compatible pressure sensor with readout electronics
1990
8 Seiten, 7 Bilder, 3 Quellen
Aufsatz (Konferenz)
Deutsch
DRUCKAUFNEHMER , KAPAZITIVER AUFNEHMER , PLANARTECHNOLOGIE , MIKROELEKTRONIK , MESSGERAETEKENNGROESSE , LEISTUNGSVERSTAERKER , MESSWERTVERARBEITUNG , KENNLINIE , TEMPERATURABHAENGIGKEIT , METALLOXIDHALBLEITER , MONOLITHISCH INTEGRIERTE SCHALTUNG , KRAFTFAHRZEUGELEKTRONIK , DRUCKMESSUNG , KAPAZITIVES MESSVERFAHREN , GERAETEEIGENSCHAFT
CMOS kompatibler Drucksensor in planarer Aetztechnik mit integrierter Auslesetechnik
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