In diesem 2. Teil wird eine Modellbildung zur Simulation mittels Digitalrechner entwickelt. Das Reticle-Muster, sowie die vorgegebene Bildszene werden digitalisiert und in einem Polarkoordinatensystem diskret dargestellt. Die Ueberlagerung laesst sich durch eine zyklische Faltung zwischen gleichen Ringen von Bildszene und Reticle darstellen; das Detektorsignal kann daraus errechnet werden. Die fuer die zyklische Faltung charakteristischen zyklischen Matrizen koennen mit der Matrix der diskreten Fouriertransformation diagonalisiert werden, woraus sich rechentechnische Vorteile ergeben. Da die zyklische Faltung ebenfalls im Z-Transformationsbereich beschrieben werden kann, laesst sich das zentrisch rotierende Reticle in einem diskreten Modell durch parallele Filter darstellen, die in den Gesamtregelkreis einbezogen werden koennen.
Beitrag zur Analyse und Simulation von Reticle-Systemen
Contributions to analysis and simulation of reticle systems
Regelungstechnik ; 29 , 6 ; 198-202
1981
5 Seiten, 4 Bilder, 3 Quellen
Article (Journal)
German
Beitrag zur Analyse und Simulation von Reticle-Systemen
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