Vorgestellt wird ein in LIGA-Technik hergestellter Gier-Sensor nach dem Prinzip des schwingendes Ringes, integriert auf einen Wafer in CMOS-p-Technik. Dieses Prinzip wurde mikromechanisch umgesetzt als im Vakuum rotierender Ring, der auf seiner Resonanzfrequenz schwingt. Durch die Einwirkung der Corioliskraft werden werden elliptische Muster erzeugt, deren Überlagerungen Nodallinien erzeugen. An den kapazitiv gekoppelten Elektroden stehen bei der Verschiebung der Nodalpunkte Signale zur Verfügung, die zur Bestimmung der Drehwinkelgeschwindigkeit oder zur Beschleunigungsmessung verwendet werden. Der Sensor wurde in Opferschichttechnik und Photoresistanwendung im 1,2-Mikrometer-CMOS-Prozeß hergestellt. Er besteht derzeit aus zwei IC, dem Sensor und dem Steuerungs-Schaltkreis. Die Integration des Drehwinkelsensors mit einem ebenfalls in LIGA-Technik hergestellten Beschleunigungsaufnehmer auf einem CMOS-Wafer wird angekündigt. Anwendungsmöglichkeiten für die Automobilelektronik (Giermessung) sind genannt.


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    Title :

    Angular rate sensor and accelerometer combined on the same micromachined CMOS chip


    Additional title:

    Mikromechanisch hergestellter Oberflächen-Mikrokreisel als Drehwinkelsensor, integriert auf einem CMOS-Wafer


    Contributors:
    Sparks, D.R. (author) / Huang, x. (author) / Higdon, W. (author) / Johnson, J.D. (author)

    Published in:

    Microsystem Technologies ; 4 , 3 ; 139-142


    Publication date :

    1998


    Size :

    4 Seiten, 3 Bilder, 8 Quellen




    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Angular rate sensor and accelerometer combined on the same micromachined CMOS chip

    Sparks, D. R. / Huang, X. / Higdon, W. et al. | British Library Online Contents | 1998


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson,J.D. / Zarabadi,S.R. / Sparks,D.R. et al. | Automotive engineering | 1995


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson, J.D. / Zarabadi, S.R. / Sparks, D.R. | Tema Archive | 1996


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995