Vorgestellt wird ein in LIGA-Technik hergestellter Gier-Sensor nach dem Prinzip des schwingendes Ringes, integriert auf einen Wafer in CMOS-p-Technik. Dieses Prinzip wurde mikromechanisch umgesetzt als im Vakuum rotierender Ring, der auf seiner Resonanzfrequenz schwingt. Durch die Einwirkung der Corioliskraft werden werden elliptische Muster erzeugt, deren Überlagerungen Nodallinien erzeugen. An den kapazitiv gekoppelten Elektroden stehen bei der Verschiebung der Nodalpunkte Signale zur Verfügung, die zur Bestimmung der Drehwinkelgeschwindigkeit oder zur Beschleunigungsmessung verwendet werden. Der Sensor wurde in Opferschichttechnik und Photoresistanwendung im 1,2-Mikrometer-CMOS-Prozeß hergestellt. Er besteht derzeit aus zwei IC, dem Sensor und dem Steuerungs-Schaltkreis. Die Integration des Drehwinkelsensors mit einem ebenfalls in LIGA-Technik hergestellten Beschleunigungsaufnehmer auf einem CMOS-Wafer wird angekündigt. Anwendungsmöglichkeiten für die Automobilelektronik (Giermessung) sind genannt.
Angular rate sensor and accelerometer combined on the same micromachined CMOS chip
Mikromechanisch hergestellter Oberflächen-Mikrokreisel als Drehwinkelsensor, integriert auf einem CMOS-Wafer
Microsystem Technologies ; 4 , 3 ; 139-142
1998
4 Seiten, 3 Bilder, 8 Quellen
Article (Journal)
English
Angular rate sensor and accelerometer combined on the same micromachined CMOS chip
British Library Online Contents | 1998
|Surface micromachined angular rate sensor
Automotive engineering | 1995
|Surface Micromachined Angular Rate Sensor
British Library Conference Proceedings | 1995
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Tema Archive | 1996
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SAE Technical Papers | 1995
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