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    Titel :

    Enhanced Deposition Rate of Diamond in Atmospheric Pressure Plasma CVD


    Beteiligte:
    Owano, T. G. (Autor:in) / Zhao, M. (Autor:in) / Kruger, C. H. (Autor:in) / Baldwin, S. K. (Autor:in) / AIAA

    Kongress:

    Meeting; 35th, Aerospace sciences ; 1997 ; Reno; NV


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1997


    Format / Umfang :

    ALL


    Anmerkungen:

    Nos 97-0001 to 97-1018 with gaps


    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Enhanced deposition rate of diamond in atmospheric pressure plasma CVD

    Owano, Thomas / Zhao, Maosheng / Kruger, Charles et al. | AIAA | 1997





    Modeling diamond deposition in a plasma assisted CVD reactor

    HYMAN, E. / TSANG, K. / DROBOT, A. et al. | AIAA | 1992