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    Titel :

    Fabrication of micro-optical surface profiles by using grayscale masks [3276-29]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 3rd, Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics ; 1998 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    9 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 3276

    DataCite | 1908


    Application of micro- and nanotechnologies for the fabrication of optical devices [3276-100]

    Ehrfeld, W. / Bauer, H.-D. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1998


    Piezoelectrical elements for micro-optical applications (Invited Paper) [3276-22]

    Goetz, B. / Martin, T. / Buecker, P. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Optical measurement of LIGA milliengine performance [3276-02]

    Dickey, F. M. / Holswade, S. C. / Christenson, T. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Design and fabrication of optical MEMS using a four-level planarized surface-micromachined polycrystalline silicon process [3276-04]

    Michalicek, M. A. / Comtois, J. H. / Schriner, H. K. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998