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    Titel :

    Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications



    Kongress:

    Conference, Advanced microsystems for automotive applications ; 1998



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    10 pages


    Anmerkungen:

    Published in 1998



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Lee,K.W. / Walker,B.E. / Allied Automotive,US et al. | Kraftfahrwesen | 1986


    A precision yaw rate sensor in silicon micromachining

    Lutz,M. / Golderer,W. / Gerstenmeier,J. et al. | Kraftfahrwesen | 1998