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    Titel :

    DTuC2 Maskless nanolithography with diffractive optics: Zone-plate-array lithography (ZPAL)


    Beteiligte:
    Carter, D. J. D. (Autor:in) / Gil, D. (Autor:in) / Menon, R. (Autor:in) / Smith, H. I. (Autor:in)

    Kongress:

    Conference, Diffractive optics and micro-optics ; 2000 ; Quebec City, Canada



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2000


    Format / Umfang :

    3 pages


    Anmerkungen:

    Also known as DOMO 2000




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




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