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    Titel :

    Control tribological and mechanical properties of MEMS surfaces. Part 1: critical review


    Beteiligte:
    Rymuza, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 5 , 4 ; 173-180


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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