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    Titel :

    Application of UV depth lithography and 3D-microforming for high aspect ratio electromagnetic microactuator components


    Beteiligte:
    Kohlmeier, T. (Autor:in) / Seidemann, V. (Autor:in) / Buttgenbach, S. (Autor:in) / Gatzen, H. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2002


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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