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    Titel :

    Process research of high aspect ratio microstructure using SU-8 resist


    Beteiligte:
    Liu, J. (Autor:in) / Cai, B. (Autor:in) / Zhu, J. (Autor:in) / Ding, G. (Autor:in) / Zhao, X. (Autor:in) / Yang, C. (Autor:in) / Chen, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 10 , 4 ; 265-268


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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