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    Titel :

    Reliability study of AlTi/TiW on polysilicon contacts for high temperature sensors


    Beteiligte:
    Andrei, A. (Autor:in) / Malhaire, C. (Autor:in) / Brida, S. (Autor:in) / Dujardin, J. M. (Autor:in) / Barbier, D. (Autor:in) / Legras, O. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 1-2 ; 149-153


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83