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    Titel :

    Fabrication and characterization of 3-Dimensional MOS transistor tip integrated micro cantilever


    Beteiligte:
    Lee, S. H. (Autor:in) / Kim, P. K. (Autor:in) / Moon, W. (Autor:in) / Lim, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 5-6 ; 579-587


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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