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    Titel :

    Modeling, optimization and performance of high-Q MEMS solenoid inductors


    Beteiligte:
    Fang, D. M. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Jing, X. M. (Autor:in) / Zhao, X. L. (Autor:in) / Wang, X. N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 2 ; 185-191


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Surface micromachined high-performance RF MEMS inductors

    Fang, D. M. / Zhou, Y. / Wang, X. N. et al. | British Library Online Contents | 2007


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    Dell, J. M. / Winchester, K. / Musca, C. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002


    Variable MEMS-based inductors fabricated from PECVD silicon nitride

    Dell, J.M. / Winchester, K. / Musca, C.A. et al. | IEEE | 2002


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    Lu, H. / Pillans, B. / Lee, J. C. et al. | British Library Online Contents | 2007