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    Titel :

    Surface micromachined high-performance RF MEMS inductors


    Beteiligte:
    Fang, D. M. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Wang, X. N. (Autor:in) / Zhao, X. L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Modeling, optimization and performance of high-Q MEMS solenoid inductors

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    Variable MEMS-based inductors fabricated from PECVD silicon nitride

    Dell, J.M. / Winchester, K. / Musca, C.A. et al. | IEEE | 2002


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