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    Titel :

    Micromachined SiO2 microcantilever for high sensitive moisture sensor


    Beteiligte:
    Chen, Q. (Autor:in) / Fang, J. (Autor:in) / Ji, H. F. (Autor:in) / Varahramyan, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 6 ; 739-746


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Enhanced Sensitivity of Microcantilever Surface Stress Sensor

    Heydari, P. / Shokuhfar, A. | British Library Conference Proceedings | 2012


    Microcantilever Chemical Sensors

    Thundat, T. / Finot, E. / Hu, Z. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999


    Simple fabrication of an uncooled Al/SiO2 microcantilever IR detector based on bulk micromachining

    Abdollahi, H. / Hajghassem, H. / Mohajerzadeh, S. | British Library Online Contents | 2014


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995


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    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995