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    Titel :

    Simple fabrication of an uncooled Al/SiO2 microcantilever IR detector based on bulk micromachining


    Beteiligte:
    Abdollahi, H. (Autor:in) / Hajghassem, H. (Autor:in) / Mohajerzadeh, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 3 ; 387-396


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Uncooled IR Detector

    Shlichta, P. J. | NTRS | 1984


    Uncooled Infrared Detector Development Review

    Tissot, J. L. / Vilain, M. / Yon, J. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Micromachined SiO2 microcantilever for high sensitive moisture sensor

    Chen, Q. / Fang, J. / Ji, H. F. et al. | British Library Online Contents | 2008


    Uncooled detector development for space application

    Rabaud, W. / Vilain, M. / Garret, T. et al. | SPIE | 2008


    Low-cost uncooled ferroelectric detector [2274-27]

    Beratan, H. / Hanson, C. M. / Meissner, E. G. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994