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    Titel :

    Ultra high aspect-ratio MEMS and NEMS on basis of fibrous composite technology


    Beteiligte:
    Sukhoveyev, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 8 ; 1099-1110


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    12 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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