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    Titel :

    Sidewall slopes and roughness of SU-8 HARMST


    Beteiligte:
    Vora, K. D. (Autor:in) / Shew, B. Y. (Autor:in) / Lochel, B. (Autor:in) / Harvey, E. C. (Autor:in) / Hayes, J. P. (Autor:in) / Peele, A. G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1777


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    1777 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Sidewall slopes and roughness of SU-8 HARMST

    Vora, K. D. / Shew, B. Y. / Lochel, B. et al. | British Library Online Contents | 2008


    Commercialising HARMST-LIGA technologies

    Tolfree, D. | British Library Online Contents | 2008


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    Schmidt, T. / Mueller, C. / Reinecke, H. | British Library Online Contents | 2014


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    Liu, H.-C. / Lin, Y.-H. / Hsu, W. | British Library Online Contents | 2003


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    Simard, A.D. / Ayotte, N. / Painchaud, Y. et al. | British Library Online Contents | 2011