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    Titel :

    A continuous-membrane micro deformable mirror based on anodic bonding of SOI to glass wafer


    Beteiligte:
    Qiao, D. Y. (Autor:in) / Wang, S. J. (Autor:in) / Yuan, W. Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 10 ; 1765-1769


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Fabrication of micro actuators for a MEMS deformable mirror by membrane transfer

    Yang, E. H. / Wiberg, D. V. / Dekany, R. G. | NTRS | 2001


    Anodic Bonding of Aluminum to Glass

    Xiaojia, W. | British Library Online Contents | 2000


    Anodic bonding of glass to aluminium

    Schjølberg-Henriksen, K. / Poppe, E. / Moe, S. et al. | British Library Online Contents | 2006


    Clear aperture design criterion for deformable membrane mirror control

    Shepherd, M.J. / Cobb, R.G. / Baker, W.P. | IEEE | 2006