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    Titel :

    An electrothermally excited dual beams silicon resonant pressure sensor with temperature compensation


    Beteiligte:
    Tang, Z. (Autor:in) / Fan, S. (Autor:in) / Xing, W. (Autor:in) / Guo, Z. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 17 , 9 ; 1481-1490


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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