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    Titel :

    Comparison of etch characteristics of KOH, TMAH and EDP for bulk micromachining of silicon (110)


    Beteiligte:
    Dutta, S. (Autor:in) / Imran, M. (Autor:in) / Kumar, P. (Autor:in) / Pal, R. (Autor:in) / Datta, P. (Autor:in) / Chatterjee, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 17 , 10-11 ; 1621-1628


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University

    Minami, K. / Esashi, M. | British Library Online Contents | 1996


    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University

    Minami, K. / Esashi, M. / ASME; Aerospace Division | British Library Conference Proceedings | 1996



    Fibre-optical MEMS switches based on bulk silicon micromachining

    Hoffmann, M. / Kopka, P. / Nusse, D. et al. | British Library Online Contents | 2003


    Micromachining Of Silicon

    Dickman, John E. | NTRS | 1988