Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    A method to measure the micro-capacitance for MEMS comb actuators


    Beteiligte:
    Zhanshe, G. (Autor:in) / Le, C. (Autor:in) / Jinliang, W. (Autor:in) / Shangchun, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 17 , 12 ; 1771-1778


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micro cam system driven by electrostatic comb-drive actuators based on SOI-MEMS technology

    Pham, P. H. / Dinh, T. K. / Dang, L. B. et al. | British Library Online Contents | 2015


    Piezoelectric micro-actuators for RF-MEMS switches

    Kanno, I. / Hironobu Endo, / Suzuki, T. et al. | IEEE | 2005


    Micro robot system with moving micro-car driven by electrostatic comb-drive actuators

    Pham, P. H. / Dang, L. B. / Vu, H. N. | British Library Online Contents | 2010



    Fabrication of micro actuators for a MEMS deformable mirror by membrane transfer

    Yang, E. H. / Wiberg, D. V. / Dekany, R. G. | NTRS | 2001