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    Titel :

    A miniaturized bulk micromachined triaxial accelerometer fabricated using deep reactive etching through a multilevel thickness membrane


    Beteiligte:
    Petricca, L. (Autor:in) / Grinde, C. (Autor:in) / Ohlckers, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 5 ; 613-622


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micromachined Tunneling Accelerometer

    Kenny, Thomas W. / Waltman, Stephen B. / Kaiser, William J. et al. | NTRS | 1993


    Triaxial Bragg grating accelerometer

    Morikawa, S.R.K. / Ribeiro, A.S. / Regazzi, R.D. et al. | IEEE | 2002



    Micromachined Servo Accelerometer for Harsh Environments

    Connolly, Thomas F. | SAE Technical Papers | 2001


    Surface Micromachined Accelerometer: A Technology Update

    Dinsmore, Kristin A. / Payne, Richard S. | SAE Technical Papers | 1991