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    Titel :

    A patterning technique of lead zirconate titanate thin film by ultraviolet-light


    Beteiligte:
    Wu, C. C. (Autor:in) / Hsueh, C. H. (Autor:in) / Chang, Y. T. (Autor:in) / Chang, C. T. (Autor:in) / Chung, K. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 6 ; 853-859


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Lead Zirconate Titanate (PZT) Film Capacitor with a Multilayer Construction

    Tsao, B.-H. / Fries-Carr, S. / Weimer, J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Sputtered Barium Titanate, Lead Zirconate Titanate, Barium Strontium Titanate Films for Capacitor Applications

    Tsao, Bang-Hung / Weimer, Joseph A. / Carr, Sandra Fries et al. | SAE Technical Papers | 2000


    Sputtered Barium Titanate, Lead Zirconate Titanate, Barium Strontium Titanate Films for Capacitor Applications

    Tsao, B.-H. / Carr, S. F. / Heidger, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000