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    Titel :

    Kinematic design of a redundant parallel mechanism for maskless lithography optical instrument manipulations


    Beteiligte:
    Ihn, Y. S. (Autor:in) / Ji, S. H. (Autor:in) / Moon, H. (Autor:in) / Choi, H. R. (Autor:in) / Koo, J. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 8-9 ; 1479-1490


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    12 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Construction of Control System on Kinematic Redundant Hybrid Parallel Mechanism for Micro-assembly

    Zhang, Fen-hua / Zhang, Xian-min / Zheng, Rui-da et al. | Springer Verlag | 2023


    Construction of Control System on Kinematic Redundant Hybrid Parallel Mechanism for Micro-assembly

    Zhang, Fen-hua / Zhang, Xian-min / Zheng, Rui-da et al. | TIBKAT | 2023


    A dual step precision multi-DOF stage for maskless digital lithography

    Ihn, Y. S. / Ji, S. H. / Moon, H. et al. | British Library Online Contents | 2012


    Impedance Control and Force Estimation of a Redundant Parallel Kinematic Manipulator

    Flores-Mendez, Juan de Dios / Schiøler, Henrik / Madsen, Ole et al. | Springer Verlag | 2019