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    Titel :

    Fabrication of micro pore optics with smooth sidewall using X-ray lithography


    Beteiligte:
    Zhang, T. (Autor:in) / Yi, F. (Autor:in) / Wang, B. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Ashmkhan, M. (Autor:in) / Zhang, X. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 2005-2010


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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