Abschlußbericht der First Sensor Technology GmbH zum Verbundvorhaben "Bipolare Mikro-Elektro-Mechanische Sensoren" für den erweiterten Temperaturbereich (BiMEMS) : Laufzeit: 01.12.2001 bis 31.12.2005
BiMEMS Abschlussbericht FST
"Bipolare Mikro-Elektro-Mechanische Sensoren" für den erweiterten Temperaturbereich (BiMEMS)
2006
19 Bl.
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1479 [richtig] - BMBF 6SV1480 [falsch]. - Verbund-Nr. 01021317
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
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Deutsch