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    Titel :

    Daempfungssimulation bei aktiv geregelten Komponenten in der Halbleiterindustrie


    Weitere Titelangaben:

    Damping simulation at active controlled components in semiconductor industry.



    Erscheinungsdatum :

    2015


    Format / Umfang :

    12 pages


    Anmerkungen:

    VDI-Ber.; 2015;3.VDI Fachtagung Schwingungsdaempfung (Leonberg September 2015);VDI-Berichte;Nr.;2261


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch