A high sensitive Michelson interferometer with polarization shifting approach is proposed to determine the surface profile of optical devices with real time capability. The depth resolution in nanometer range and the lateral resolution smaller than 3 micrometer is demonstrated experimentally.


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    Titel :

    Polarization-Shifting Profilometer


    Beteiligte:
    Hui-Kang Teng, (Autor:in) / Kuo-Chen Lang, (Autor:in) / Chun-Chen Yen, (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    256734 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



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