A double pass diode-pumped Nd:YAG rod laser pre-amplifier for EUV lithography has been demonstrated. An average output power as great as 81 W with excellent beam quality is available for injection pulse duration of 300 ps.


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    Titel :

    High power amplification of solid-state Nd:YAG laser with short pulses of 300 ps/5 kHz


    Beteiligte:
    Wang, T. (Autor:in) / Fujita, H. (Autor:in) / Mitra, A. (Autor:in) / Tsubakimoto, K. (Autor:in) / Fujimoto, Y. (Autor:in) / Yoshida, H. (Autor:in) / Nakatsuka, M. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    1390948 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




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