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    Titel :

    Resonating large-angle and low-consumption micromachined optical scanner [3276-09]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference; 3rd, Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics ; 1998 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    7 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 3276

    DataCite | 1908


    Optical measurement of LIGA milliengine performance [3276-02]

    Dickey, F. M. / Holswade, S. C. / Christenson, T. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Design and fabrication of optical MEMS using a four-level planarized surface-micromachined polycrystalline silicon process [3276-04]

    Michalicek, M. A. / Comtois, J. H. / Schriner, H. K. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Micromachined polysilicon resonating xylophone bar magnetometer

    Wickenden, D. K. / Champion, J. L. / Osiander, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003