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    Titel :

    A micromachined tunable resonator fabricated by the CMOS post-process of etching silicon dioxide


    Beteiligte:
    Dai, C. L. (Autor:in) / Yu, W. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 8 ; 766-772


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Widely tunable micromachined optical filters

    Wu, M. S. / Vail, E. C. / Chang-Hasnain, C. J. | British Library Conference Proceedings | 1996




    Micromachined Silicon Waveguides

    Online Contents | 1994