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    Titel :

    Quality factor of micro cantilevers transduced by piezoelectric lead zirconate titanate film


    Beteiligte:
    Lu, J. (Autor:in) / Ikehara, T. (Autor:in) / Kobayashi, T. (Autor:in) / Maeda, R. (Autor:in) / Mihara, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 11-12 ; 1517-1522


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Lead Zirconate Titanate (PZT) Film Capacitor with a Multilayer Construction

    Tsao, B.-H. / Fries-Carr, S. / Weimer, J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998



    A patterning technique of lead zirconate titanate thin film by ultraviolet-light

    Wu, C. C. / Hsueh, C. H. / Chang, Y. T. et al. | British Library Online Contents | 2013


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    Tsao, Bang-Hung / Weimer, Joseph A. / Carr, Sandra Fries et al. | SAE Technical Papers | 2000


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