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    Titel :

    Integration of an atomic force microscope in a nanopositioning and nanomeasuring machine


    Weitere Titelangaben:

    Die Integration eines AFM in eine Maschine fuer Nano-Messung und Nano-Positionierung.


    Beteiligte:
    Hofmann,N. (Autor:in) / Hausotte,T. (Autor:in) / Jaeger,G. (Autor:in) / Manske,E. (Autor:in) / Tech.Univ.Ilmenau,DE

    Erscheinungsdatum :

    2004


    Format / Umfang :

    7 pages


    Anmerkungen:

    VDI-Ber.; 2004;8th Int.Symposium on Measurement and Quality Control in Production;VDI-Berichte;Nr.;1860


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch