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    Titel :

    In-situ Processing Of GaAs/AiGaAs By Low Damage Selective Etching And Focussed Ion Beam Patterning


    Beteiligte:
    Skidmore, J.A. (Autor:in) / Spiers, G.D. (Autor:in) / English, J.H. (Autor:in) / Xu, Z. (Autor:in) / Green, D.L. (Autor:in) / Young, D.B. (Autor:in) / Coldren, L.A. (Autor:in) / Hu, E.L. (Autor:in) / Petroff, P.M. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1991


    Format / Umfang :

    162496 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    In-situ CI/sub 2/ Thermal Etching Of GaAs/AiGaAs For Damage Removal In A Plasma Etcher

    Lechaton, J.S. / Buchmann, P. / Dietrich, H.-P. et al. | IEEE | 1991


    Periodically segmented channel waveguides in AIGaAs/GaAs

    Hyoun Soo Kim, / Sinha, S. / Ramaswamy, R.V. | IEEE | 1995



    Quantum Well Wires Using As Implantation Induced Intermixing in GaAs/AIGaAs

    Ooi, B.S. / Saher Helmy, A. / Tang, Y.S. et al. | IEEE | 1998


    AlGaAs Regrown On AiGaAs By MOCVD

    Armour, E.A. / Sun, S.Z. / Zheng, K. et al. | IEEE | 1991