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    Titel :

    Characteristics of thin film deposition by photo-CVD using a Xe2 excimer lamp



    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2004



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt



    Klassifikation :

    Lokalklassifikation TIB:    770/5600/8000
    BKL:    53.00 Elektrotechnik: Allgemeines / 52.53 / 53.00 / 53.33 / 53.31 / 53.33 Elektrische Maschinen und Antriebe / 53.31 Elektrische Energieübertragung / 52.53 Kraftwerkstechnik



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