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    Titel :

    A high Q micromachined single crystal silicon bulk mode resonator with pre-etched cavity


    Beteiligte:
    Wu, G. (Autor:in) / Xu, D. (Autor:in) / Xiong, B. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Bulk-Micromachined Optical Filter Based on Guided-Mode Resonance in Silicon-Nitride Membrane

    Hsu, C.-L. / Liu, Y.-C. / Wang, C.-M. et al. | British Library Online Contents | 2006


    Micromachined silicon structures for single-mode passive alignment [2691-15]

    Han, H. / Schramm, J. E. / Mathews, J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Temperature tuned external cavity diode laser with micromachined silicon etalons

    Chapman, W.B. / Daiber, A. / McDonald, M. et al. | IEEE | 2004



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    Mizuno,J. / Nottmeyer,K. / Amemori,M. et al. | Kraftfahrwesen | 2000